TY  - BOOK
AU  - Zhang G Q
AU  - Fan X J
AU  - Van Driel W D
TI  - Mechanics of microelectronics
SN  - 1-4020-4934-X
U1  - 621.381 
PY  - 2006///
CY  - Dordrecht
PB  - Springer-Verlag
KW  - Microelectronics
ER  -